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我国杰出微电子(zi)科学家吴德馨院士逝世

中新社北京3月24日电 我国科学院微电子(zi)研讨所24日公布讣告：我国科学院院士、我国杰出的(de)微电子(zi)科学家吴德馨因病医(yi)治(zhi)无效，于3月23日下昼在北京逝世，享年90岁。

吴德馨1936年12月生于河北乐亭(ting)，1961年毕业于清华大学无线电电子(zi)工程系，成为清华大学第一批半导(dao)体专(zhuan)业毕业生。她毕业后到我国科学院半导(dao)体研讨所工作，1986年调入我国科学院微电子(zi)研讨所前身我国科学院微电子(zi)中心工作。1991年当选为我国科学院院士(学部(bu)委员)。

吴德馨是我国半导(dao)体与(yu)集成电路研讨的(de)开拓者之一，为国度微电子(zi)事业进展(zhan)作出了(le)卓越贡献(xian)。

在我国科学院半导(dao)体研讨所工作期间，她作为课题(ti)负责人负担了(le)新我国成立初(chu)期“12年科学计划”中的(de)“立体型高速(su)开关晶体管的(de)研讨”，自(zi)力自(zi)主办理了(le)进步开关速(su)率的(de)枢纽问题(ti)，开关速(su)率达到其时(shi)国际同类产品程度。该技术打破了(le)西方国度对我国的(de)封(feng)锁，为“两弹一星”配套的(de)“109丙”计算机提供了(le)核心器件。

在我国科学院微电子(zi)中心，吴德馨成功(gong)开发出双层(ceng)多晶硅和差(cha)值氧化工艺，打破我国大规(gui)模集成电路成品率长期低下的(de)局面，为我国集成电路工业临(lin)盆奠定底子(zi)。她领(ling)导(dao)开发出0.8微米CMOS全套工艺，科研成果和产品开发等效益(yi)没有断增(zeng)加。

吴德馨前后荣(rong)获国度科技进步奖二等奖、我国科学院科技进步一等奖、何梁何利(li)基金科学与(yu)技术进步奖等。(完)